上海韵通测试仪器-东莞升降高温炉

高温炉怎样自动来调节温度

高温炉在调整温度的时候，要依照着PID的操控进行全方面的调整，把整个积分和微积分的操控系统有效地融合在一起，这种方式目前为止也是整个经营设备在操控过程当中自动调整温度的一个有效的操控方式。

另外，可以采用二维是调理的方式来有效的控制温度，相对而言他有开关两种状态因此当整个高温炉的温度低于整个估计值的时候，那么执行器在这种情况之下基本上是处于打开的状态，当整个高温炉的温度高于原本的给定值的时候，执行器在这种情况之下就处于关闭的状态，所以说，执行器的选择通常而言也是非常重要的，他是一个非常重要的接触器，对整个高温炉温度的调节有着至关重要的控制作用，这一点要引起足够重视。

高温炉操作规程

1 准备工作a，检查电源线接触是否良好b，检查连接线是否正常c，检查冷却水是否正常d，检查密封性是否正常e， 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a，打开主电源开关b， 向炉体充ya气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板c， 将输送车开关打至 OUTd， 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a，升降高温炉，将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开ya气阀门充ya气（20L/min）。加热 先打开水环泵 再按 RUN，开始工艺加热。冷却a、加热结束后，按工艺条件进行冷却。

高温炉洗炉步骤： 1.使用保护气体驱除炉内空气： （1）在电炉预热之前，一般应将保护气体引入炉内; （2）保护气体可以通过上，下和后洗涤炉口。 排气口的针阀应打开大尺寸，以便尽快的排出炉内空气; （3）通常，将约10倍体积炉的保护气体引入炉内，使炉内的氧浓度降至约10ppm; （4）当炉内氧气浓度满足产品工艺要求时，可关闭排气口针阀，节约保护气体，关闭炉口，进气口用于通过流量计进入 ; （5）在使用电炉的过程中，须在炉内保持正压，以防止外部空气进入炉内。

2.真空泵预真空方式： （1）将任何一个出风口连接到真空软管; （2）预先清空炉腔; （3）获得保护气体; （4）对炉腔进行预真空。