真空气氛高温炉-上海韵通1-东莞高温炉

高温炉操作规程

1 准备工作a，检查电源线接触是否良好b，检查连接线是否正常c，检查冷却水是否正常d，东莞高温炉，检查密封性是否正常e， 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a，打开主电源开关b， 向炉体充ya气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板c， 将输送车开关打至 OUTd，真空气氛高温炉， 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a，将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板，高温箱式电阻炉，拧紧石墨螺栓，关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开ya气阀门充ya气（20L/min）。加热 先打开水环泵 再按 RUN，高温箱式烧结炉，开始工艺加热。冷却a、加热结束后，按工艺条件进行冷却。

高温炉又叫马弗炉，实验电炉，是用于实验室的加热设备。高温炉只是一个统称，其实在不断的发展过程中，又有了很多的细分。

箱式炉：顾名思义，箱式高温炉外型和一个箱子一样，也就是传统意义上的马弗炉，只不过功能更强大，保温性能更好。炉膛一般是方形的，尺寸规格可以定制，门开在正前方，开门方是向外拉，门内还有一个门堵，能够更好的保温。这也是特别常用的一种高温炉，适合大多数实验室。

高温炉修复工作： 1.额定功率不应超过额定功率。 炉子的温度不应超过高温。 禁止将湿部件放入炉内并预干燥含有过量水分的加热部件。 2.保持炉子清洁，去除炉内的金属氧化物，炉渣和杂质。 处理工件时应小心，以防止损坏硅钼棒。 3，硅钼棒碱，碱金属，硅酸和硼化合物在高温下会腐蚀它，水蒸气有很强的氧化作用，含有大量氢的氢气和气体会在高温下分解硅钼棒。 使用时要注意。 4，车间配有1/2水管，水源和0.2MPa力。