上海管式炉-上海韵通1-单温区管式炉

当管式炉使用惰性气体时需要注意的问题

1. 接通工作气体气路，真空管式炉，将管式炉气体出口端联接机械泵。

2. 当管式炉真空表到-0.1(指针到止境时)，关闭出气阀，关闭进气阀。

3. 翻开管式炉进气阀，合上真空泵电源，翻开出气阀(留心把住法兰，避免炉管受力过大)，抽暇刚玉管和气体管路。

4. 管式炉气压表当气压稳守时，关闭管式炉进气阀，上海管式炉，翻开出气阀，多温区管式炉，抽真空到-0.1，关管式炉出气阀。

5. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢翻开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa(2小格)。

6. 逆时针旋动旋钮，缓慢翻开管式炉进气阀;亲近留心管式炉气压表，供认气压在0.08MPa以下(如气压高于0.08MPa，翻开管式炉出气阀放气)。

7. 重复4、5步两次。

8. 关机械泵，单温区管式炉，翻开管式炉进气阀。

真空管式炉操作

不管何种结构型式的加热炉，其热交换系统要求有足够的传热面积，较好的传热效果，运行过程中尽量减少结垢，降低排烟温度这一运行指标。燃烧系统要求有较好的调节性能和低氧燃烧特性，以达到控制过剩空气系数运行指标。加热炉热效率的高低主要取决于结构设计合理，有利于燃烧系统发挥作用，同时传热面积要足以满足热负荷的要求；运行过程中要及时调整工况，经济运行。

如何选择管式炉？

1、了解您的应用程序

单区与多区：多区炉具有多个独立控制的恒温区，允许受控的温度梯度或较长的加热区。

水平（标准）与垂直：垂直管炉提供较小的占地面积，可用于快速加热/淬火过程

RTP（快速热处理）：可滑动的样品保持器或加热炉

高压/真空炉：特殊设计的高温高压真空处理用不锈钢或高温合金管

旋转管式炉：加热过程中旋转管以提高粉末加工/涂层均匀性

气体处理能力：可用于氢气处理和高温腐蚀研究的特殊模型

多功能：基于管式炉的完整系统，如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生长系统等