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发布时间:2020-04-23 11:28:00 作者:上海韵通
双(多)温区管式炉
产品描述
双(多)温区管式炉采用双层壳体结构和40段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,双(多)温区管式炉炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,双(多)温区管式炉双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,采用高纯度石英管、两端用不锈钢法兰密封,用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品.
管式炉的使用过程中要注意石英管的特性
1、石英管软化的软化点为1270度,在1200度下使用时不应超过3小时。
2、管式炉一般不建议客户通过氢气,除了爆i炸浓度极限内的非氢含量外,如果客户需要使用炉内浓度为氢气的爆i炸浓度,请务必采取 安全措施,通过当气体是气体时,不要站在炉管的两端。 如果使用氢气,请使用不锈钢管。 由于不锈钢的传热系数大于石英的传热系数,因此不锈钢的两端需要水冷。 否则,O形圈的温度太高而无法密封。
3、保持炉管内部清洁卫生。 与SiO2反应的材料不能保留在炉管中。 燃烧材料时,为了延长炉管的使用寿命,不要将材料直接放在炉管上并用船保持。 如下所示)。
当管式炉使用惰性气体时需要注意的问题
1. 接通工作气体气路,将管式炉气体出口端联接机械泵。
2. 当管式炉真空表到-0.1(指针到止境时),关闭出气阀,关闭进气阀。
3. 翻开管式炉进气阀,合上真空泵电源,翻开出气阀(留心把住法兰,避免炉管受力过大),抽暇刚玉管和气体管路。
4. 管式炉气压表当气压稳守时,关闭管式炉进气阀,翻开出气阀,抽真空到-0.1,关管式炉出气阀。
5. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢翻开出口减压阀,使出口气压在0.004MPa(2小格)。
6. 逆时针旋动旋钮,缓慢翻开管式炉进气阀;亲近留心管式炉气压表,供认气压在0.08MPa以下(如气压高于0.08MPa,翻开管式炉出气阀放气)。
7. 重复4、5步两次。
8. 关机械泵,翻开管式炉进气阀。
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